一、電控柜的操作

第一步是打開水泵和氣源，然后開總電源，接下來就是開維持泵和真空計(jì)電源，等真空計(jì)檔位置V1的時(shí)候，等其他值小于10之后（約需5分鐘）就可以開機(jī)械泵、予抽，開渦輪分子泵電源啟動(dòng)，把真空計(jì)開關(guān)換到V2的位置抽到小于2（約需20分鐘）之后再渦輪分子泵的讀數(shù)達(dá)到250以后把予抽關(guān)了，開前機(jī)和高閥繼續(xù)工作，抽真空達(dá)到到一定程度之后把右邊的高真空表頭打開，達(dá)到2×10-3之后打開電子槍電源。

二、關(guān)機(jī)順序

先把高真空表頭關(guān)了再把分子泵關(guān)了等分子泵顯示50時(shí)再依次關(guān)高閥、前級、機(jī)械泵（期間約需40分鐘）等到50以下的時(shí)候把維持泵關(guān)了就可以了。

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